通常,尘埃粒子计数器厂家根据仪器的规格和成本来选择在洁净室中使用的尘埃粒子计数器。
以下是应该考虑的问题及因素:
1.这个粒子计数器是否会被用于认证洁净室和从测试完一个位置以后然后到另一个位置?
2.预计收集什么类型的数据?将这些信息记录为简单的合格/不合格?还是将信息记录到电子表格或数据库中?
3.尘埃粒子计数器是否会被用来进行连续的动态的洁净室粒子监测?粒子计数器是否打算与环境监控系统连接?
4.粒子计数器将用于什么类型的环境?是将其用于ISO3级洁净室进行常规颗粒计数,还是将其用于验证流动的关键工艺过程?
5.操作人员是否将尘埃粒子计数器放在周围,是将其放置在关键的工艺的工作台上,还是将其安装在可以移动的小车上?
6.灵敏度:可检测的尺寸的颗粒。
在尘埃粒子计数器校准工作中,应首先将尘埃粒子计数器开机预热十分钟以上,然后再进行校准。而在实际校准工作中,有的校准人员为了赶时间,未进行预热,直接进行尘埃粒子计数器自净时间的检测,因为仪器还未稳定,往往造成自净时间的测量结果不符合要求或测量结果处于技术要求的临界点。
01 实验室要求洁净度10000级的净化室或净化区,如果洁净度达不到要求,会对测量结果有直接影响。因为尘埃粒子发生测量装置在运转过程中要吸入空气,如果实验室的洁净度不够,实验室内空气中的尘埃粒子会对尘埃粒子发生测量装置的过滤器造成污染。过滤器被污染后不能完全把吸入空气中的尘埃粒子过滤干净,使喷出的单分散粒子气溶胶的粒子浓度不准确,从而对尘埃粒子计数器的测量结果造成很大的影响。
02 当要启动尘埃粒子计数器进行测量时,需要检查计数器的入口管是否被盖住或堵塞。如果A,M管被盖住或堵塞不要启动计数器,否则会对计数器的气泵造成损害。
03 还需要注意的是在配置单分散粒子稀释液时需要将单分散粒子原液充分摇匀,向尘埃粒子发生测量装置上的喷雾头内加入需要测量的单分散粒子稀释液之前也要将其充分摇匀。因为溶液中的粒子会发生沉淀,如果不摇匀,溶液中的粒子不均匀,会直接影响测量结果。
04 对于灵敏度在0.1um的尘埃粒子计数器,如果没有特别的防护,不能用于测量大于1000级的净化室,很容易对其传感器造成损伤。所以对于这种尘埃粒子计数器在测量自净时间和采样流量的时候,在洁净度1000级或优于1000级的净化区域进行空气测量,以防止对计数器本身造成伤害。每次测量完一种粒径的单分散粒子稀释液后,需要更换其他粒径的单分散粒子稀释液进行测量时都需要对尘埃粒子计数器进行自净,以免残留在尘埃粒子计数器管道中的粒子影响测量结果,造成测量结果不准确。
05 另外,要将尘埃粒子发生测量装置上盛装单分散粒子稀释液的喷雾头用满足要求的纯净水充分清洗干净,然后再加入其它需要测量的单分散粒子稀释液。 以免喷雾头中残留的原单分散粒子稀释液对新加入的粒子稀释液造成污染,从而影响测量结果。
06 关于校准 尘埃粒子计数器是国家规定的计量器具, 需按计量检定规程每年定期校准。因为尘埃粒子计数器在使用一段时间后,其光学系统及检测系统都会发生变化,如光源老化、发光效率降低或聚焦错位、透镜被污染, 从而使整机的转换灵敏度变化。
尘埃粒子计数器校准, 就是对仪器各方面进行调整, 以获得工作状态。
现阶段常见的校准尘埃粒子计数器的方法是利用两类不同的尘埃粒子计数器的比值进行控制,即将可测粒径小于 0.2微米的仪器称为A类仪器,其余的均为B类仪器。在进行校准的时候,需要将A类仪器作为一个标准,从而通过计算得到B类计数器的技术效率,但是这种方式有一个严重的弊端,即A类尘埃粒子计数器无法被校准,只能默认其为准确的。